01 반도체 제조설비용 디퓨저 특허등록
제 10-2627477
10 인재육성형중소기업 선정
ISO45001 인증
09 스마트공방 기술보급사업 선정
07 ISO9001/14001 인증
05 성과공유기업인증
04 소재부품장비전문기업인증 / 뿌리기업인증
12 반도체용 가공장비증설
VT-650R / SIRIUS UL+ / D2-5AX
10 ~ Diffuser, Shower Head 대외수출 (Taiwan,China)
08 Diffuser, Shower Head 대외수출 (Taiwan,China) ~
12 MCT증설
HSA-436 (4000X3600X1000mm) 36호기-3
09 MCT증설
HSA-436 (4000X3600X1000mm) 36호기-2
08 MCT증설
BMP-2740 27호기
07 사업확장
자가공장 이전 (양감면)
부지 2,000평
건평 600평 (공장 500평, 사무실 100평)
07 ISO9001인증
04 연구개발 전담부서 인정
MCT증설
BMP-2740 (4000X2700X500mm) 27호기
07 MCT(2대)증설
BMP-2740P (4000X2700X500mm) 27호기
08 MCT증설 & 공장이전
DV-3642 (4200X3600X1100mm) 36호기-1
01 법인설립
